产品中心
Product Center
设备构成:由本体、输送系统、排液系统、混液系统、电气控制系统等部分组成
外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2400×1300×2400mm(不含排风法兰2100mm)
腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=800×800×800mm
外形尺寸:H*W*D(单位mm)=1760×1760×2100mm
腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=1500×1200×600mm
外形尺寸:H*W*D(单位mm)=2100×2500×1500mm
外形尺寸:1300L×1200W×2550Hmm(不包含外挂操作屏)
总部
地址:安徽合肥市经济开发区新桥集成电路科技产业园A座
北京分公司
地址:北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
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